8寸半自动探针台概�?
新型 Cascade SUMMIT200 高级测量系统对于尽快收集单个或批量晶片上的高精度测量数据至关重要�?
SUMMIT200 专为研发、器件特征描述和建模或利基生产应用而设计,可实现超低噪声、直流、射频、毫米波和太赫兹应用的温度范围内的精确电气测量,具有手动、半自动和现在的全自动操作功能,可在最短时间内获得精确数据�?
主要特�?
测量准确性:
- 采用 PureLine ‖ AutoGuard 和下一�?nbsp;MicroChamber 技术,是高精度 IV/CV、低噪声�?nbsp;1/f 测量的最佳解决方案
- 通过有效的屏蔽功能将交流噪声和频谱噪声降至最�?
- 通过集成射频工具�?nbsp;WinCal,实现无与伦比的射频/毫米波测量和校准精度
- 集成最短信号路径测试,实现准确、热稳定和低误差的数据采�?
生产效率
- 自动晶圆处理,获得准确数据的时间最多可缩短 5 ‖
- 高吞吐量 UT/MT(多温区无人值守测试仪- 采用 VueTrack™ 和高温稳定�?nbsp;(HTS) 技�?
- 标准�?nbsp;"难测 "器件(如薄晶圆、小焊盘和高功率器件)更快获得首批数�?
- eVue 数字成像系统,具有增强的光学可视化、快速设置以及晶圆内导航功能
- 功能强大的自动化工具,可缩短晶圆、单晶片和模块的总测试时�?
定位精度
- 先进的四轴半自动平台,可实现精确定位和可重复的探针与焊盘接触
- 利用电动定位器和 VueTrack PRO 实现精确的亚微米定位和主动热补偿
- 采用符合人体工程学的手动控制装置,实现额外的快�?nbsp;"上手 "晶圆定位
灵活性和应用定制解决方案
- 射频/微波器件特性分析仪1/f ‖ WLR ‖ FA 和设计调�?
- Velox 与分析仪/测量软件之间的无缝集�?
- 使用探针定位器和生产探针卡的完整解决方案
- 用于精细结构和大面积探测的多功能显微镜安装系�?
- 全温度范�?nbsp;-60°C �?nbsp;+300°C
易用�?
- 操作舒适,符合人体工程师
- 通过锁定滚动台快速、舒适地手动接触晶片
- 屏幕导航、晶片映射、附件操作以�?nbsp;Velox 热敏系统操作简�?