薄膜测试五选一

             薄膜探针�?nbsp;                                        薄膜变温探针台

                  （室温测试）                                                          （室温到200℃）

 （可用于薄膜和厚�?室温铁电性能测试�?nbsp;               （可用于厚膜铁电、压电（d33）、热释电测试仪

       薄膜四探针探针台                                     薄膜宽温区探针冷热台

             （室温到200℃）                                                               �?196℃到+600℃）

（可用于厚膜铁电、压电（e31）、热释电测试�?nbsp;             （可用于薄膜和厚膜变温的铁电和热释电测试仪

       薄膜探针台（国产�?

            （室温铁电测试）

（可用于薄膜和厚�?室温铁电性能测试仪

超薄超小薄膜测试选件

Dynamic Leakage Current Compensation动态漏电流补偿功能：小�?00nm薄膜以及漏电较大薄膜适用�?

In-Situ Compensation 寄生电容补偿：小�?um2样品适用�?