系统概述

      美国Lake Shore CPX低温真空探针台可以对器件进行非破坏性的测试，器件的最大尺寸可达到51mm(2inch)。它可以对材料或器件的电学特性测量、光电特性测量、参数测量、high Z测量、DC测量、RF测量和微波特性测量提供一个测试平台。一般来讲，纳米电子材料、量子线、量子点和半导体材料是在CPX在进行测量的比较典型的材料。系统的探针、测试电缆、样品架都有多种类型可供选择，从而满足不同用户的需要�?

主要特性与技术指�?

· 系统可使用液氮或液氦制冷，基本系统温度范围：4.2 K to 475 K

· 加入温度选件，温度范围可�?.5 K to 400 K�?0 K to 675 K

· 样品台可进行面内±5°旋转

· 测量DC�?7GHz

· 最大测试样品尺�?1mm直径

· 最多可使用6个探针臂

· 探针臂传上安装温度感器进行温度监�?

· 可提供Load-lock选件

· 控温稳定性：±50mK

· 探针�?轴方向可调节，并可进行面内�?°旋转

· 采用高真空选件，系统真空度可达�?0-7 torr

· 电缆、屏蔽和Guard保护进一步减少了电噪声和热辐射损�?

· 可提供不同的选件和附件来满足特定的科研测试需�?