系统概述
美国Lake Shore FWPX探针台可以对器件进行非破坏性的测试,器件的最大尺寸可达到102mm(4inch)。它可以对材料或器件的电学特性测量、光电特性测量、参数测量、high Z测量、DC测量、RF测量和微波特性测量提供一个测试平台。一般来讲,纳米电子材料、量子线、量子点和半导体材料是在FWPX在进行测量的比较典型的材料。系统的探针、测试电缆、样品架都有多种类型可供选择,从而满足不同用户的需要�?
美国Lake Shore FWPX的温度变化范�?.5K�?75K,加入选件,基础温度可以降至3.5K。系统需要使用液氦或液氮实现变温,热辐射屏大大降低了黑体辐射,提高了制冷效率。冷头上安装2个加热器,减小了样品的温度梯度,加上热辐射屏上的加热器,整个系统可以实现快速的变温�?
FWPX具有最�?个可以进行微调整的探针臂,每个探针臂上的探针都可以进�?维方向上的定位。样品级可以平移和旋转。专用的探针根据尺寸和材料不同,分为多种类型,探针减少了热质量,优化了和器件的电接触性。每个探针都直接和冷头进行导热,这样就减小了探针对样品的热传递�?
为了提高系统的实用性,系统还可以提�?.5K基本温度级、振动隔离装置、LN2杜瓦、高放大倍数的显微镜、分子泵组、探针臂的光纤电缆等选件�?
主要特性与技术指�?
· 系统可使用液氮或液氦制冷,基本系统温度范围:4.2 K to 475 K
· 测量DC�?7GHz
· 最大测试样品尺�?02�?in)直�?
· 最多可使用6个探针臂
· 探针臂传上安装温度感器进行温度监�?
· 控温稳定性:±50mK
· 探针�?轴方向可调节,并可进行面内�?°旋转
· 电缆、屏蔽和Guard保护进一步减少了电噪声和热辐射损�?
· 可提供不同的选件和附件来满足特定的科研测试需�?