系统概述

      美国Lake Shore CRX-6.5K探针台是一个低成本不需要低温制冷剂的探针台，它可以对器件进行非破坏性的测试，器件的最大尺寸可达到51mm(2inch)。它可以对材料或器件的电学特性测量、光电特性测量、参数测量、high Z测量、DC测量、RF测量和微波特性测量提供一个测试平台。一般来讲，纳米电子材料、量子线、量子点和半导体材料是在CRX- 6.5K进行测量的比较典型的材料。系统的探针、测试电缆、样品架都有多种类型可供选择，从而满足不同用户的需要�?

      使用Sumitiomo公司�?.5K闭循环制冷机，不需要消耗液氦和液氮，CRX- 6.5K的温度变化范�?0K�?50K，加上一个可以更换的高温样品架选件，温度变化范�?0K�?75K。每一个低温样品级都安装温度计和加热器，可以提供快速的热响应，快速迅速回到室温，样品更换非常方便。热辐射屏大大降低了黑体辐射，提高了制冷效率�?

      系统采用了精心的设计来减低振动，采用各种减震装置阻止机械振动影响测量的性能。在全量程温度范围内，样品的振动小于1um ( X, Y, Z�?�?

主要特性与技术指�?

· 采用闭循环制冷机制冷，不需消耗任何液氮或液氦，基本系统温度范围：10K�?50K

· 高温选件温度范围�?0K�?75K

· 系统冷却时间<3.5小时

· 探针臂分别在防辐射屏和样品台上热沉，最低温度可以达�?5K

· 探针臂传上安装温度感器进行温度监�?

· 控温稳定性：±50mK

· 样品更换循环时间4小时

· 低振动设计：在样品台<2μm ( X, Y, Z�?

· 测量DC�?7GHz

· 各种样品架适于低噪音，高频，高阻测�?

· 最大测试样品尺�?1mm�?in）直�?

· 最多可使用6个探针臂

· 探针臂可进行3轴调整和平面内�?度的调整