系统概述
美国Lake Shore CRX-4K探针台是不需要低温制冷剂的探针台,它可以对器件进行非破坏性的测试,器件的最大尺寸可达到51mm(2inch)。它可以对材料或器件的电学特性测量、光电特性测量、参数测量、high Z测量、DC测量、RF测量和微波特性测量提供一个测试平台。一般来讲,纳米电子材料、量子线、量子点和半导体材料是在CRX- 4K进行测量的比较典型的材料。系统的探针、测试电缆、样品架都有多种类型可供选择,从而满足不同用户的需要�?
使用Sumitiomo公司�?K闭循环制冷机,不需要消耗液氦和液氮,CRX- 4K的温度变化范�?.5K�?50K,加上一个可以更换的高温样品架选件,温度变化范�?0K�?00K。每一个低温样品级都安装温度计和加热器,可以提供快速的热响应,快速迅速回到室温,样品更换很方便。热辐射屏大大降低了黑体辐射,提高了制冷效率�?
系统采用了精心的设计来减低振动,采用各种减震装置阻止机械振动影响测量的性能。在全量程温度范围内,样品的振动小于1um ( X, Y, Z�?�?
主要特性与技术指�?
· 采用闭循环制冷机制冷,不需消耗液氮或液氦,基本系统温度范围:4.5K�?50K
· 控温稳定性�?0mK
· 系统冷却时间<3.5小时
· 低振动设计:在样品台<1μm ( X, Y, Z�?
· 测量DC�?7GHz
· 各种样品架适于低噪音,高频,高阻测�?
· 最大测试样品尺�?1mm�?in)直�?
· 最多可使用6个探针臂
· 探针臂可进行3轴调整和平面内�?度的调整
· 电缆、屏蔽和Guard设计减小了电噪声和热辐射损失
· 多种选件和附件的设计可满足不同用户的需�?