产品介绍
PS200_Triax系列高端探针台，是一款高配多功能、综合型手动探针台，样品台移动控制采用气浮式平台结构，可以拖动样品台进行快速移动并定位样品，独具特点的FlyTest模块化设计，可搭配不同变倍比显微镜，集合了手动探针台诸多最新的创新技术，。该设备扩展升级功能强，可根据客户的新测试需求，重新改变或升级配置，很适合高校、研究机构、企业研发中心实验室的一步到位多用途需求�?
产品特点
◆显微镜底座采用龙门结构，刚性好，保证高质量光学成像
◆金相显微镜气动升降调节，方便快速更换物镜或探针卡夹具、针�?
◆大行程气浮式移动样品台，实现样品测试位置快速定�?
◆卡盘可360°旋转及小角度微调、精�?0.1 ‖
◆针座平台三段式不连续升降设计，分别用于探针接触、探针分离、晶圆取放或装载
◆可选配高低温测试卡�?
◆台体底板隔振基座设计，有效吸收因环境引起的桌面振动，保证测试探针跟PAD电极稳定接触
‖ FlyTest模块化设计，可随时扩展升�?
�?span>可配置光波探针及探针座，可进�?OE ‖ EO ‖ OO测试
�?span>可配�?CV套件进行CV测试以及IV ‖ PIV测试
应用方向
晶圆/微型机电系统�?MEMS ‖ / LED / LD / PD电学性能测试、组件特性描述和建模、材料或器件�?IV/CV特性测试、封装器�?/PCB板测试、射频测试、高�?/低频测试、高功率�?HP）测试、失效分析（FA）�?LED / OLED /LCD面板行业分析等�?
技术参�?
样品台：
尺寸�?8英寸及以�?
平整度：<3μm
移动方式：大行程定位采用气浮移动方式，搭配千分尺精细调节移动方式
气浮X-Y总行程：255mm*325mm
精调X-Y行程�?25mm*25mm，移动精�?1μm
精调移动精度�? ‖ 1μm
Z轴行�?/移动精度�?5mm（快速升降）/6mm（微调升降），微调移动精�?2 μm
样品固定方式：真空吸附，多圈环形（中心孔）吸�?/多孔吸附且独立控�?
水平旋转：可360°水平旋转，可微调角度9°，精�?0.1°
背电极测试：有，样品台电学独立悬空，预留三同轴接口，耐压 ‖ 500V
接触显示�?LED显示设计，可显示扎针接触实时状�?
针座吸附平台�?
平台样式、规格：U型针座平台，最多可放置12 ‖ DC针座�?8个射频针座， 支持探卡�?
行程&调节方式：针座平�?Z向微调升降最大行�?42.5mm，微调移动精度≤ 10μm，带自锁功能
平台快速升降：有，�?3档快速升降位置调节，分别�?0（探针接触）�?300 μm（探针脱离）�?5mm（装载样品），带自锁功能，带有接触灯显示�? 可实时显示其位置信息
针座平台：U型针座平台，最多可放置12 ‖ DC针座�?个射频针座；
光学成像系统�?
显微镜类型：可选配：金相显微镜（推荐）/体视显微�?/单筒视频显微�?
物镜切换方式：显微镜气动快速升�?50mm，支持俯仰更换物�?
放大倍数：金相显微镜�?20X-4000X；体视显微镜（推荐）�?16X-100X（配�? 20X目镜时，目镜视野总放大倍数，主体变�?0.8X-5X）；单筒视频显微 镜：20X-500X，配置高�?CCD相机、显示屏�?
镜头规格：目镜：10X，物镜：2X（选配）�?5X ‖ 10X ‖ 20X ‖ 50X（选配）�?100X （选配�?
移动行程�?X-Y行程2英寸*2英寸�?Z轴行程：50.8mm
移动精度�?<5μm
显微镜光源：金相显微镜：采用同轴垂直照明系统（同轴光照明技术，可实 现自动无级调节亮度、灰度、锐度等），标配外置冷光源，2m长的照明 光纤体视显微�?/视频显微镜：标配环形LED光源，可选配同轴光源
CCD像素�?200万像素（数字�?/500万像素（数字�?/1200万像素（数字�?
探针座：
X-Y-Z行程�?12mm-12mm-12mm
移动精度�?2μm/0.7μm/0.3μm
吸附方式：磁力吸�?/真空吸附
探针夹具�?
线缆：三轴线/同轴�?
探针固定方式：弹簧固�?/管状固定带锁�?
接口方式�?BNC/三轴/TNC/SMA/3.5mm/2.92mm/N ‖ /香蕉�?/鳄鱼夹等
漏电精度�?10PA/100fA（需配置屏蔽箱）
CV套件�?
开尔文设计：开尔文设计，可搭配LCR表等进行CV测试
开尔文探针台
主要特性：
- 开尔文设计
- DC ~150MHz
- 隔离电阻�?1 x 1013 Ω
- 耐压�?500V
- 卓越的串扰特�?
- 宽工作温�? ‖ -65°C ‖ +150°C
- 针尖材质：钨�?
- 连接方式�?SSMC
- 阻抗值：50Ω
- 最大直流电流：5A
直流探针家具类型
探针臂自带三轴线缆的漏电�?100fA以内，如下图黄色线缆所示：
探针夹具
直流探针
产品介绍
直流测试探针分为硬针和软针，针尖直径�?0.2um�?um�?um�?um�?0um�?0um�?0um�?00um�?00um多种规格可选，长度分别�?8mm�?1mm，材质钨钢或者铍铜�?
标准样品：自带标准测试样品一�?
外形（长* ‖ *高）mm ‖ 800x750x650
重量�?kg）：180kg
电力需求：200V ‖ 50~60Hz
可选附件：屏蔽箱、光电测试选件、同�?/三轴卡盘、光纤夹具耦合测试选件�? 探针卡夹具（可安装针卡）、共聚焦显微扫描光电流成像系统、根据客户要 求特殊定�?
基本配置�?
探针台主�?1�?
显微镜系�?1
气浮系统*1
精密针座*4
低漏三轴线缆*4
8寸背栅卡�?1
直流探针*2�?
气路互锁系统*1
工具套装*1�?
标准样品*1�?
