产品介绍

PS200_RF系列高端探针台，是一款高配多功能、综合型手动探针台，样品台移动控制采用气浮式平台结构，可以拖动样品台进行快速移动并定位样品，独具特点的FlyTest模块化设计，可搭配不同变倍比显微镜，集合了手动探针台诸多最新的创新技术，。该设备扩展升级功能强，可根据客户的新测试需求，重新改变或升级配置，很适合高校、研究机构、企业研发中心实验室的一步到位多用途需求�?

产品特点

    �?span>显微镜底座采用龙门结构，刚性好，保证高质量光学成像

    �?span>金相显微镜气动升降调节，方便快速更换物镜或探针卡夹具、针�?

    �?span>大行程气浮式移动样品台，实现样品测试位置快速定�?

    �?span>卡盘�?360°旋转及小角度微调�?span>精度0.1 ‖

    �?span>针座平台三段式不连续升降设计，分别用于探针接触、探针分离、晶圆取放或装载

    �?span>可选配高低温测试卡�?

    �?span>台体底板隔振基座设计，有效吸收因环境引起的桌面振动，保证测试探针台PAD电极稳定接触

    ◆FlyTest模块化设计，可随时扩展升�?

    �?span>可配置光波探针及探针座，可进�?OE、EO、OO测试

    �?span>支持频率�?DC~1.1THz ，配置专用的ISS校准�?

应用方向

    晶圆/微型机电系统�?MEMS ‖ / LED / LD / PD电学性能测试、组件特性描述和建模、材料或器件�?IV/CV特性测试、封装器�?/PCB板测试、射频测试、高�?/低频测试、高功率�?HP）测试、失效分析（FA）�?LED / OLED /LCD面板行业分析等�?

主要技术参�?

样品台：

  ‖ 尺寸�?8英寸及以下，卡盘镀�?

  ‖ 平整度：<5μm

  ‖ 移动方式：大行程定位采用气浮移动方式，搭配千分尺精细调节移动方式

  ‖ 气浮X-Y总行程：255mm*325mm

  ‖ 精调X-Y行程�?25mm*25mm，移动精�?1μm

  ‖ 精调移动精度�? ‖ 1μm

  ‖ Z轴行�?/移动精度�?5mm（快速升降）/6mm（微调升降），微调移动精�?2 μm

  ‖ 样品固定方式：真空吸附，多圈环形（中心孔）吸�?/多孔吸附且独立控�?

  ‖ 水平旋转：可360°水平旋转，可微调角度9°，精�?0.1°，带有锁死装�?

  ‖ 背电极测试：有，样品台电学独立悬空，预留三同轴接口，耐压 ‖ 500V

  ‖ 接触显示�?LED显示设计，可显示扎针接触实时状�?

射频探针台

主要特性：

    �?独特的空气共面针尖设�?

     ‖ DC �?nbsp;110 GHz 型号有单针和差分版本

     ‖ 插入损耗和回波损耗低超低损�?nbsp;(-L) 型号

      ‖ 卓越的串扰特�?

      ‖ 宽工作温度：-65°C �?nbsp;+200°C

      ‖ 宽间距范围，最高可�?250 μm

      ‖ 可快速交�?nbsp;100�?25�?50�?00 �?nbsp;250 μm 间距的产�?

      ‖ 可选择铍铜 (BeCu) 或钨针尖材料

      ‖ 减少接触 (RC) 探头端头，用于小焊盘

      ‖ 精密针尖双配置可�?

      ‖ BeCu 针尖提供坚固耐用、可重复的金焊盘上的接触

      ‖ 最小插损为�?.0dB

      ‖ 最大直流电流：5A

      ‖ 最大射频功率：6.5W

针座吸附平台�?

平台样式、规格：U型针座平台，最多可放置12 ‖ DC针座�?8个射频针座， 支持探卡�?

行程&调节方式：针座平�?Z向微调升降最大行�?42.5mm，微调移动精度≤ 10μm，带自锁功能

平台快速升降：有，�?3档快速升降位置调节，分别�?0（探针接触）�?300 μm（探针脱离）�?5mm（装载样品），带自锁功能，带有接触灯显示�? 可实时显示其位置信息

光学成像系统�?

显微镜类型：可选配：金相显微镜（推荐）/体视显微�?/单筒视频显微�?

物镜切换方式：显微镜气动快速升�?50mm，支持俯仰更换物�?

放大倍数：金相显微镜�?20X-4000X；体视显微镜（推荐）�?16X-100X（配�? 20X目镜时，目镜视野总放大倍数，主体变�?0.8X-5X）；单筒视频显微 镜：4.5X-200X，配置高�?CCD相机、显示屏�?

镜头规格：目镜：10X，物镜：2X（选配）�?5X ‖ 10X ‖ 20X ‖ 50X（选配）�?100X （选配�?

移动行程�?X-Y行程2英寸*2英寸�?Z轴行程：50.8mm

移动精度�?<5μm

显微镜光源：金相显微镜：采用同轴垂直照明系统（同轴光照明技术，可实 现自动无级调节亮度、灰度、锐度等），标配外置冷光源，2m长的照明 光纤体视显微�?/视频显微镜：标配环形LED光源，可选配同轴光源

CCD像素�?200万像素（数字�?/500万像素（数字�?/1200万像素（数字�?

探针座：

X-Y-Z行程�?12mm-12mm-12mm

移动精度�?2μm/0.7μm/0.3μm

吸附方式：磁力吸�?/真空吸附

探针夹具�?

线缆：三轴线/同轴�?

探针固定方式：弹簧固�?/管状固定带锁�?

接口方式�?BNC/三轴/TNC/SMA/3.5mm/2.92mm/N ‖ /香蕉�?/鳄鱼夹等

漏电精度�?10PA/100fA（需配置屏蔽箱）

CV套件�?

开尔文设计：开尔文设计，可搭配LCR表等进行CV测试

标准样品：自带标准测试样品一�?

外形（长* ‖ *高）mm ‖ 800x750x650

重量�?kg）：180kg

电力需求：200V ‖ 50~60Hz

可选附件：

屏蔽箱、光电测试选件、同�?/三轴卡盘、光纤夹具耦合测试选件�? 探针卡夹具（可安装针卡）、共聚焦显微扫描光电流成像系统、射频线缆、校准片、射频探针、提供标准测试样品；根据客户�?求特殊定�?